Появление сканирующего ионного микроскопа является новым этапом в развитии сканирующей микроскопии, характеризующимся получением субнанометрового разрешения. Благодаря минимально возможному размеру источника ионов, который представляет собой одиночный атом вольфрама, теоретический предел разрешения составляет 0,25 нм.
Подробнее: Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Zeiss ORION
Zeiss Merlin - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II и безмаслянной вакуумной системой.
Помимо детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен четырехквадрантным детектором обратно-рассеянных электронов (AsB) и детектором обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).
Аналитические возможности микроскопа расширены дополнительными приставками для рентгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act и системой регистрации дифракции обратнорассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5.
Сканирующий электронный микроскоп Zeiss SUPRA 40VP, установленный в МРЦ "Нанотехнологии", является уникальным аналитическим комплексом исследования поверхности благодаря широкому набору дополнительных детекторов и приставок.
Подробнее: Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP
Сканирующий электронный микроскоп Himera EM50Pro (Ciqtek SEM5000Pro) с детектором дифракции обратно-рассеянных электронов Oxford C-Nano+.
 |
 |
Рабочая станция Auriga Laser с пересекающимися ионным и электронным пучками дополнительно укомплектована твердотельным лазером.
- Система со сфокусированными электронным и ионным зондами QUANTA 200 3D
- Настольный растровый электронный микроскоп-микроанализатор TM 3000 (HITAСHI, Япония)
- Конфокальный лазерный микроскоп LEICA TCS SPE (Leica, Германия).
- Атомно-силовой микроскоп — зондовая нанолаборатория INTEGRA-AURA (NT-MDT, Россия)
- Комплекс оборудования для палеомагнитного анализа горных пород
