Сканирующий электронный микроскоп Zeiss SUPRA 40VP, установленный в МРЦ "Нанотехнологии", является уникальным аналитическим комплексом исследования поверхности благодаря широкому набору дополнительных детекторов и приставок.
Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP
Zeiss Supra 40VP – сканирующий электронный микроскоп с полевым (Field Emission) катодом, колонной электронной оптики GEMINI и полностью безмаслянной вакуумной системой с режимом работы на низком вакууме (VP). Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".
Помимо стандартных для серии Supra детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен детектором вторичных электронов для режима низкого вакуума (VPSE), четырехквадрантным детектором обратнорассеянных электронов (AsB).
Аналитические возможности микроскопа расширены системой регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ и системой регистрации токов наведенных электронным лучом (EBIC) Gatan SmartEBIC.
Два микроманипулятора Kleidiek Nanotechnik позволяют модифицировать наноструктуры, контролируя процесс в режиме реального времени.
Ссылки на литературу по сканирующей электронной микроскопии и аналитическим методам СЭМ можно найти в разделе Книги нашего сайта.
Основные характеристики микроскопа:
1. Пространственное разрешение (предельное):
- Ускоряющее напряжение Разрешение
- 200 В 5 нм
- 1 кВ 2.1 нм
- 15 кВ 1.3 нм
2. Характеристики источника:
- Диапазон токов пучка 4пA - 40 нA
- Стабильность тока пучка лучше чем 0,2% / час
3. Вакуумные режимы:
- Высокий вакуум в камере (HV) 5x10-7торр
- Контролируемый низкий вакуум в камере(VP) 1 Па - 144 Па
4. Стандартные детекторы:
- • внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE);
- • детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2);
- • детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума в камере (VPSE);
- • четырехквадрантный детектор обратнорассеянных электронов (AsB).
5. Параметры стандартного стола:
Моторизованный пятиосевой (Klein MK5).
Gatan MonoCL3+
Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ благодаря прецизионному параболическому зеркалу и двум высокочувствительным детекторам позволяет записывать спектры катодолюминесценции в диапазоне длин волн от ультрафиолетовой области до ближнего инфракрасного излучения.
Для регистрации спектров в диапазоне 900 нм - 2000 нм (ближняя ИК область) применяется CCD-камера Princeton Instruments/Acton IRCL-9, охлаждаемая жидким азотом. Камера представляет собой линейку из 1024 элементов длиной 2 см. Главной особенностью данного решения можно назвать возможность параллельной безлюфтовой регистрации спектров, что позволяет повысить точность определения относительного положения максимумов в спектрах катодолюминесценции.
Установленная система укомплектована проточным гелиевым криостолом, при работе с которым в качестве хладагента может применяться как гелий так и жидкий азот (Dual-fuel option).
Также систему дополняет модуль Gatan SmartEBIC, позволяющий регистрировать ток наведенный электронным лучом (EBIC). Для измерения тока используется усилитель Stanford Research SR570.
Основные характеристики системы:
- - монохроматор:
- • система: Черни-Тернера;
- •дифр. решетки: 1200 штр./мм и 300 штр./мм;
- - детекторы:
- • ФЭУ – Peltier-cooled HSPMT (200 нм - 950 нм);
- • CCD-камера IRCL9 (900 нм - 2000 нм);
- - диапазон температур: 6-400 K.
