Научно-исследовательская платформа Нанолаб, состоит из следующих взаимосвязанных сверхвысоковакуумных модулей:
1. аналитический модуль фотоэлектронной спектроскопии
Модуль ультрафиолетовой и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии используется для аналитической диагностики электронной энергетической и спиновой структуры синтезируемых наносистем с одновременной экпресс-корректировкой деталей технологического воздействия.
Включает:
- сверхвысоковакуумную камеру с полусферическим энергоанализатором VG Scienta R4000 с микроканальным детектором и 3D спиновым детектором Мотта, с шестиосевым моторизированным манипулятором с возможностью охлаждения жидким гелием, с узкополосным высокоинтенсивным источником ультрафиолетового излучения VUV 5k c выдвижным капилляром, с монохроматизированным рентгеновским источником MX 650;
- сверхвысоковакуумную камеру для подготовки образцов, укомплектованную оборудованием для нанесения тонких пленок и ионного профилирования образцов, дифрактометром медленных электронов OCI BDL800IR c оптикой для оже-электронной спектроскопии.
Преимущества модуля фотоэлектронной спектроскопии:
- давление в аналитической камере при измерениях не выше, чем 1-2•10-10 мбар,
- высокое энергетическое (<1.8 мэВ) и угловое (<0.1°) разрешение анализатора,
- 6-осевой манипулятор Prevac с охлаждением образца до 30 К,
- станция кратковременного нагрева до температуры ~2300 К для получения атомной чистоты поверхности монокристаллов тугоплавких металлов,
- формирования образцов “in situ” методам локальной молекулярной и атомной эпитаксии с контролем толщины слоев до долей монослоя, молекулярного наслаивания и химической сборки.
Дополнительно:
ссылка на сайт производителей PREVAC sp. z o.o. и VG Scienta
2. аналитический модуль зондовой микроскопии
Модуль сверхвысоковакуумного сканирующего туннельного и атомно-силового микроскопа с системой визуализации технологических операций предназначен для мониторинга результатов проведённых нанотехнологических операций, изучения структуры нанообъектов с атомарным разрешением.
Данная научно-исследовательская платформа позволяет решать нанодиагностические задачи и задачи синтеза нанообъектов с детализацией процессов на атомарном уровне и анализа тонких особенностей электронной энергетической и спиновой структуры нанообъектов, способствующих созданию прорывных технологий и проведению научных исследований в самых современных и актуальных направлениях наноэлектроники (включая графеновую) и спинтроники.
Включает:
- сверхвысоковакуумную камеру со сканирующим зондовым микроскопом Omicron VT AFM XA 50/500, позволяющим исследовать структуру поверхности с атомарным разрешением в широком диапазоне температур;
- сверхвысоковакуумную камеру для подготовки образцов с оборудованием для нанесения тонких пленок и контроля их параметров методами дифракции медленных электронов и оже-спектроскопии.
Преимущества модуля зондовой микроскопии:
- сканирование поверхности образцов с атомным разрешением в условиях сверхвысокого вакуума (1-2•10-10 мбар),
- сканирование при температурах образца в диапазоне от 50 до 500 К,
- режимы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа (контактный и бесконтактный режимы),
- возможность осаждения различных веществ на поверхность образца в процессе эксперимента при нахождении образца на столике микроскопа
- возможность приготовления вольфрамовых игл “in situ” методом электронной бомбардировки,
- формирование образцов “in situ” методами локальной молекулярной и атомной эпитаксии с контролем толщины слоев до долей монослоя, молекулярного наслаивания и химической сборки.
Дополнительно:
ссылка на сайт производителя Omicron NanoTechnology GmbH
