Междисциплинарный ресурсный центр по направлению "Нанотехнологии" (МРЦ-НТ) – это центр коллективного пользования уникальным научным оборудованием, предназначенным для проведения научных исследований и образовательной деятельности преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами СПбГУ.
МРЦ-НТ создан в рамках реализации Федеральной целевой программы "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в РФ на 2008-2012 годы" и входит в состав национальной нанотехнологической сети.
Организационная структура и управление МРЦ-НТ утверждены Приказом ректора от 13 февраля 2009 года.
Основные направления деятельности:
- • аналитическая электронная и ионная микроскопия,
- • электронно- и ионно-лучевая нанолитография,
- • прецизионная подготовка образцов для исследований методами микроскопии.
Оборудование РЦ:
1. Zeiss Libra 200FE
Libra 200 FE – аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Микроскоп оборудован энергодисперсионным детектором рентгеновского излучения.
2. Zeiss Merlin
Zeiss Merlin – сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II и безмасляной вакуумной системой. Помимо детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен четырехквадрантным детектором обратно-рассеянных электронов (AsB) и детектором обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB). Аналитические возможности микроскопа расширены дополнительными приставками для рентгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act и системой регистрации дифракции обратнорассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5.
3. Zeiss Supra 40VP
Сканирующий электронный микроскоп с полевым (Field Emission) катодом, колонной электронной оптики GEMINI и полностью безмаслянной вакуумной системой с режимом работы на низком вакууме (VP). Микроскоп оснащен детектором вторичных электронов для режима низкого вакуума (VPSE), четырехквадрантным детектором обратнорассеянных электронов (AsB). Аналитические возможности микроскопа расширены системой регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL. Микроскоп оборудован криостолом с возможностью охлаждения до гелиевых температур и нагревательным столом с возможностью до 750°С.
4. Auriga Laser System
Прибор оснащен колонной электронной оптики GEMNI, в качестве источника электронов используется автоэмиссионной катод. Ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов формирует сфокусированный пучок ионов Ga+ с энергией до 30 кэВ. Для получения изображения используются детекторы вторичных электронов In-Lens и детектор Эверхарта-Торнли SE2. Дополнительно на прибор установлен ультрафиолетовый лазер, позволяющий проводить распыление поверхности с высокой скоростью.
5. Zeiss ORION
Появление сканирующего ионного микроскопа является новым этапом в развитии сканирующей микроскопии, характеризующимся получением субнанометрового разрешения. Благодаря минимально возможному размеру источника ионов, который представляет собой одиночный атом вольфрама, теоретический предел разрешения составляет 0.25 нм. Микроскоп оборудован системой литографии Nanomaker.
