Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Информация о материале: Категория: Оборудование РЦ Нанотехнологии; Просмотров: 13183

Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим ОМЕГА фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.

Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Libra 200 FE – аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Основные характеристики микроскопа:

Ускоряющее напряжение:

• 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ.

Увеличение:

• в режиме ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х;
• в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х;
• в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х.

Предельное разрешение:

• в режиме ПЭМ 0.12 нм;
• в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм.

Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.

Методы:

- высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ);
- просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ);
- сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ);
- ПЭМ с фильтрацией по энергиям;
- электронная дифракция (ED);
- ED в сходящемся пучке (CBED);
- аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS);
- Z-контраст;
- наблюдение объекта в диапазоне температур от -170^оС до 25^оС.

Области применения:

- характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов;
- локальный анализ элементного состава;
- анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники;
- идентификация дефектов кристаллической решетки полупроводниковых материалов;
- тонкая структура биологических объектов.

Требования к образцам:

Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например: алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm.

Энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения X-Max

Тип спектрометра – энергодисперсионный (EDS).

Тип детектора – Analytical Silicon Drift Detector (SDD): X-Max;
• активная площадь кристалла – 80 мм²;
• безазотное охлаждение (Пельтье);
• моторизированный слайдер.

Спектральное разрешение – 127 эВ (Mn), соответствует ISO 15632:2002;

Чувствительность к концентрации – 0,1%.

Держатели образов для LIBRA 200

Gatan Model 643. Одноосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений и аналитических приложений, такие как электронная дифракции и EDX анализ образцов ТЕМ, где не требуется две оси наклона образца.

Основные характеристики:

• cкорость дрейфа 1.5 нм/мин
• разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
• размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
• материал держателя бериллий
• угол наклона максимум 60ᵒ

Gatan Model 646. Двухосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений с высоким разрешением, держатель включает в себя конструктивные особенности, оптимизирован для электронной дифракции и EDX-анализа кристаллических образцов.

Основные характеристики:

• скорость дрейфа 1.5 нм/мин
• разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
• размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
• материал держателя бериллий
• углы наклона α =60ᵒ β = 45ᵒ

Gatan Model 626. Одноосный Крио трансфер аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах замороженных гидратированных образцов, Он также может быть использована для исследований in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода, уменьшения нежелательных тепловых эффектов в EELS.

Основные характеристики:

• скорость дрейфа 1.5 нм/мин
• разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
• размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
• макс. рабочая температура 110ᵒС
• мин. рабочая температура - 170ᵒС
• криоген жидкий азот
• стабильность температуры ± 1ᵒС
• время охлаждения 30 минут до -170ᵒС
• материал держателя медь
• угол наклона максимум 60ᵒ

Используется совместно с такими приборами:

• Рабочая станция Model 626 workstation

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

Gatan Model 636. Двухосный Крио аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах, in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода. Он также может быть использована для уменьшения нежелательных тепловых эффектов в аналитических методах EELS и EDX.

Основные характеристики:

• скорость дрейфа 1.5 нм/мин
• разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
• размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
• макс. рабочая температура 110ᵒС
• мин. рабочая температура - 170ᵒС
• криоген жидкий азот
• стабильность температуры ± 1ᵒС
• время охлаждения 30 минут до -170ᵒС
• материал держателя бериллий
• углы наклона α =60ᵒ β = 45ᵒ

Используется совместно с таким прибором:

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

Gatan Model 652. Двухосный аналитический держатель с нагревом

Держатель с возможностью нагрева образца предназначен для in situ наблюдения за микро-структурными изменениями фазы, нуклеации, ростом и растворением в процессе повышенных температур.