Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим ОМЕГА фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.
Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE
Libra 200 FE – аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".
Основные характеристики микроскопа:
Ускоряющее напряжение:
• 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ.
Увеличение:
- • в режиме ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х;
- • в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х;
- • в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х.
Предельное разрешение:
- • в режиме ПЭМ 0.12 нм;
- • в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм.
Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.
Методы:
- - высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ);
- - просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ);
- - сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ);
- - ПЭМ с фильтрацией по энергиям;
- - электронная дифракция (ED);
- - ED в сходящемся пучке (CBED);
- - аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS);
- - Z-контраст;
- - наблюдение объекта в диапазоне температур от -170оС до 25оС.
Области применения:
- - характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов;
- - локальный анализ элементного состава;
- - анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники;
- - идентификация дефектов кристаллической решетки полупроводниковых материалов;
- - тонкая структура биологических объектов.
Требования к образцам:
Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например: алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm.
Энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения X-Max
Тип спектрометра – энергодисперсионный (EDS).
Тип детектора – Analytical Silicon Drift Detector (SDD): X-Max;
• активная площадь кристалла – 80 мм2;
• безазотное охлаждение (Пельтье);
• моторизированный слайдер.
Спектральное разрешение – 127 эВ (Mn), соответствует ISO 15632:2002;
Чувствительность к концентрации – 0,1%.
Держатели образов для LIBRA 200
Gatan Model 643. Одноосный аналитический держатель
Предназначен для получения изображений и аналитических приложений, такие как электронная дифракции и EDX анализ образцов ТЕМ, где не требуется две оси наклона образца.
Основные характеристики:
- • cкорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
- • материал держателя бериллий
- • угол наклона максимум 60ᵒ
Gatan Model 646. Двухосный аналитический держатель
Предназначен для получения изображений с высоким разрешением, держатель включает в себя конструктивные особенности, оптимизирован для электронной дифракции и EDX-анализа кристаллических образцов.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
- • материал держателя бериллий
- • углы наклона α =60ᵒ β = 45ᵒ
Gatan Model 626. Одноосный Крио трансфер аналитический держатель
Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах замороженных гидратированных образцов, Он также может быть использована для исследований in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода, уменьшения нежелательных тепловых эффектов в EELS.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
- • макс. рабочая температура 110ᵒС
- • мин. рабочая температура - 170ᵒС
- • криоген жидкий азот
- • стабильность температуры ± 1ᵒС
- • время охлаждения 30 минут до -170ᵒС
- • материал держателя медь
- • угол наклона максимум 60ᵒ
Используется совместно с такими приборами:
• Рабочая станция Model 626 workstation
• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller
Gatan Model 636. Двухосный Крио аналитический держатель
Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах, in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода. Он также может быть использована для уменьшения нежелательных тепловых эффектов в аналитических методах EELS и EDX.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
- • макс. рабочая температура 110ᵒС
- • мин. рабочая температура - 170ᵒС
- • криоген жидкий азот
- • стабильность температуры ± 1ᵒС
- • время охлаждения 30 минут до -170ᵒС
- • материал держателя бериллий
- • углы наклона α =60ᵒ β = 45ᵒ
Используется совместно с таким прибором:
• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller
Gatan Model 652. Двухосный аналитический держатель с нагревом
Держатель с возможностью нагрева образца предназначен для in situ наблюдения за микро-структурными изменениями фазы, нуклеации, ростом и растворением в процессе повышенных температур.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 0.2 нм/мин (при температуре от 0 до 500ᵒC)
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 500 микрон толщина
- • макс. рабочая температура 1000ᵒС
- • мин. рабочая температура комната
- • материал держателя бериллий, медь
- • углы наклона α =45ᵒ β = 30ᵒ
Используется совместно с такими приборами:
• Контроллер температуры Model 901 SmartSet Hot Stage Controller
• Водяным рециркулятором Model 652.09J Water recirculator
Gatan Model 654. Одноосный деформационный держатель
Держатель предназначен для исследования in situ растяжения образцов.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 2.5 мм X 11.5 мм, 500 микрон толщина
Используется совместно с таким прибором:
• Контроллер Accutroller Model 902
Fischione Model 2040. Двухосевой томографический держатель
Держатель с дополнительной осью вращения предназначен для получения серии изображений для томографии.
Основные характеристики:
- • скорость дрейфа 1.5 нм/мин
- • разрешение 0.34 нм при нулевом угле наклона
- • размер образца 3 мм диаметр, 100 микрон толщина
- • материал держателя медь
- • угол наклона максимум 70ᵒ