Устройство плазменной чистки образцов Jeol JIC-410.
Прибор может быть использован для очистки держателей ПЭМ от углеводородных загрязнений.
Размещение: Василеостровская площадка.
Статус: эксплуатация в рабочем режиме.
Основные технические характеристики
|
Тип электрода |
горизонтальный |
|
Давление |
1～102 Па |
|
Материал мишени |
углерод |
|
Напряжение |
регулируемое |
|
Таймер |
1~10 с |
|
Вакуумная помпа |
10 л/мин |
Принцип работы
Использование тлеющего разряда для плазменной очистки образца в ПЭМ держателе от углеводородных загрязнений.
Требования к образцам
Образцы должны быть смонтированы на стандартных ПЭМ-сеточках диаметром 3 мм и установлены в держатель для образцов.
