Установка предназначена для напыления однослойных и многослойных покрытий методом магнетронного распыления. В качестве рабочего газа в данной установке используется аргон.
Установка обладает следующими преимуществами:
- Максимально возможное число загружаемых подложек в одном цикле, на которые производится напыление – 4.
- Реализована возможность напылять многослойные покрытия из двух или трех различных материалов в одном рабочем цикле.
- Процесс магнетронного распыления может проводиться как в режиме постоянного тока, так и в высокочастотном режиме (ВЧ-режим).
- Один магнетрон работает только в режиме постоянного тока, а два других магнетрона работают в двух режимах: режиме постоянного тока и ВЧ-режиме.
- Реализована подача реактивных газов, что позволяет эффективно проводить напыление диэлектрических материалов.
- В самой установке вакуумного напыления реализована возможность стравливать грязь с поверхности подложек, на которые будет проводиться распыление с помощью источника ионов КЛАН-103М.
- Реализована возможность прогрева подложек для того, чтобы добиться более ровной и гладкой поверхности пленки при распылении.
- Напыление пленок на данной установке возможно с применением мишеней двух разных диаметров, благодаря тому, что в установке реализована возможность напыления материалов с основной магнитной системой (для больших мишеней) и с дополнительной магнитной системой (для малых мишеней). Инженерное решение, которое позволяет заменять магнитные системы, позволяет напылять как тонкие пленки (толщина от 1 нм) с дополнительной магнитной системой, так и толстые пленки, проводя технологический процесс с основной магнитной системой, что позволяет добиваться высоких скоростей распыления материала мишени и тратить существенно меньше времени на напыление покрытий.>
- Толщина напыляемого покрытия измеряется с помощью кварцевых датчиков, установленных внутри камеры. Данные о толщине поступают на контроллер кварцевых датчиков Telemark.
Параметры мишеней
- Большая мишень – диаметр мишени от 87 мм до 91 мм, толщина мишени от 0,5 мм до 8 мм;
- Малая мишень – диаметр мишени от 50 мм до 52 мм, толщина мишени от 0,5 мм до 4 мм.
