Cпектрометр ESCALAB 250Xi рассматривается в качестве современного комплекса электронно-спектроскопического оборудования, способного решить большую часть современных прикладных задач диагностического типа для синтезируемых нанообъектов и систем.
Основной частью спектрометра является полусферический энергоанализатор с двойным фокусированием и энергетическим диапазоном от 0 до 5000 эВ, включающим монохроматический источник рентгеновского излучения последнего поколоения, систему ионного профилирования, систему высокоточного наблюдения за образцом, манипулятор с пятью степенями свободы и камеры для загрузки и предварительной подготовки образцов.
Основные методы исследования:
- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с высоким разрешением
- спектроскопия ионного рассеяния
- спектроскопия энергии потерь электронов
- растровая Оже-электронная спектроскопия с высоким пространственным разрешением (менее чем 95 нм)
Преимущества спектрометра ESCAlab 250Xi:
- три камеры с независимыми системами откачки: аналитическая камера, камера подготовки и камера ввода образцов
- полусферический анализатор с двумя детекторами: мультиканальный детектор, основанный на электронном умножителе широкого динамического диапазона и двухмерный детектор, основанный на микроканальной пластине и координатном детекторе
- Система визуализации изображений поверхности с использованием ренгеновской фотоэлектронной спектроскопии с пространственным разрешением менее чем 20 микрометров, минимальная область анализа с использованием спектроскопии в режиме параллельной визуализации не более 3 микрометров
- Система магнитных иммерсионных линз для увеличения чувствительности (интенсивности) с сохранением пространственного разрешения
- Манипулятор с пятью степеням свободы с функциями нагрева и охлаждения: охлаждение до 170 К и нагрев до 600 К
- Растровая электронная пункта основанная на эффекте полевой эмиссии с размером электронного пучка менее 95 нм с нотом 5 нА и энергией 10 кэВ
- ультрафиолетовый источник с дифференциальной системой откачки для исспедования валентной зоны с угловым разрешением менее 1.5 °
- рентгеновский источник с монохроматором
- система нейтрализации положительным и отрицательными зарядами, встроенная в анализатор, используемая для работы с диэлектриками
- дифрактометр медленных электронов в камере подготовки образцов
Дополнительно:
Сайт разработчика: Thermo Scientific
