Масс-спектрометрия вторичных ионов с использованием сфокусированных пучков ионов галлия

Методика исследования, основанная на анализе масс-спектра вторичных ионов,  генерируемых в процессе локального распыления образца сфокусированным пучком ионов галлия, квадрупольным масс-спектрометром с предельным спектральным разрешением 0.1 а.е.м.