- Информация о материале
- Категория: Оборудование РЦ Инновационные технологии композитных наноматериалов
- Просмотров: 4648
Установки "Наносерф" и "Солар-МН" предназначены для синтеза методом МН (молекулярного наслаивания)-ALD (Atomic Layer Deposition) тонких пленок различных соединений (Al2O3,TiO2, ZnO, HfO2, VO2, SnO2 и др.) заданной толщины (от долей нанометра до микрон), в том числе с заданным чередованием этих слоев, на поверхности плоских, объемных 3D или дисперсных материалов.
