Q 150T ES – универсальная вакуумная система позволяющая получать пленки металлов методами термического испарения и катодного распыления материалов, а также углеродных пленок методом вакуумно-дугового испарения графита.
1. Для вакуумирования системы используется турбо-молекулярный насос.
2. Наличие модулей термического испарения и катодного распыления материалов обеспечивает возможность нанесение покрытий как легкоплавких металлов, таких как алюминий, так и тугоплавких, таких как платина, вольфрам и т.д. Катодное распыление производится при пониженном давлении в атмосфере аргона.
3. Возможно напыление углерода в дуговом режиме, имеется опция импульсного напыления углерода из кордов.
4. Рабочая камера выполнена из борсиликатного стекла с внутренним диаметром 150 мм и высотой 127 мм.
5. Держатель для образца – вращающийся, диаметром 60 мм, скорость вращения 8-20 об/мин.
6. Напыление возможно проводить как по таймеру, так и по заданной толщине, определяемой интегрированным в камеру датчиком.
7. Автоматическая система контроля вакуума с возможностью программирования для напыления различных материалов.
8. Станция имеет систему ионного травления для чистки апертур СЭМ.
9. Для модификации поверхности подложек (создание свойств гидрофильности, гидрофобности) система имеет опцию режима тлеющего разряда.
