Open menu
                 

Спектральный эллипсометрический комплекс "Эллипс 1891 САГ" (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения), структурных свойств материалов (пористость; наличие, концентрация и распределение примесей в пленке).

В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Преимущества:

  • универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
  • однозначность вычисления эллипсометрических параметров: они измеряются в полном диапазоне их значений (Ψ – от 0о до 90о; Δ – от 0о до 360о) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.

Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.

Технические характеристики

Характеристика

Значение

Источник света

галогенная лампа

Спектральный диапазон

350-1000 nm

Время измерения

 

На одной длине волны

1 мс

Полный спектр

8-20 с.

Диаметр светового пучка

3 мм

Диапазон углов падения света, фиксировано

45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°

Предметный столик

 

Ручное перемещение

25 мм по осям X.Y

Вертикальное перемещение

0-20 мм

Регулировка наклона плоскости предметов

Воспроизводимость

ψ= 0.02°
dΔ= 0.05°

Питание

220-240 В (50/60 Гц)

Размеры

850x400x300 мм

Вес

55 кг

Оптические механические компоненты

 

Монохроматор

малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой

Поляризатор

призма Глана-Тейлора

Анализатор

призма Волластона

Компенсатор

ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля

Фотоприемник

два кремниевых двухэлементных фотоприемника