Спектральный эллипсометрический комплекс «Эллипс 1891 САГ» (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения), структурных свойств материалов (пористость; наличие, концентрация и распределение примесей в пленке).

 

В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Преимущества

      • универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;

      • однозначночностью вычисления эллипсометрических парамеров: они измеряются в полном диапазоне их значений ( Ψ — от 0 до 90 градусов; Δ — от 0 до 360 градусов ) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.

Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.

Технические характеристики

Характеристика

Значение

Источник света

галогенная лампа

Спектральный диапазон, нм

350 - 1000 nm

Время измерения

 

на одной длине волны

1 мс

полный спектр

8–20 сек

Диаметр светового пучка

3 мм

Диапазон углов падения света, фиксированно

45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°

Предметный столик

 

ручное перемещение

25 мм по осям X.Y

Вертикальное перемещение

0–20 мм

Регулировка наклона плоскости предметов

Воспроизводимость

ψ= 0.02°
dΔ= 0.05°

Питание

220–240 В (50/60 Гц)

Размеры

850x400x300 мм

Вес

55 кг

Оптические м механические компоненты

 

Монохроматор

малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой

Поляризатор

Призма Глана-Тейлора

Анализатор

Призма Волластона

Компенсатор

Ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля

Фотоприемник

Два кремниевых двухэлементных фотоприемника