Спектральный эллипсометрический комплекс Эллипс 1891 САГ

Спектральный эллипсометрический комплекс "Эллипс 1891 САГ" (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения), структурных свойств материалов (пористость; наличие, концентрация и распределение примесей в пленке).

В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Преимущества:

• универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
• однозначность вычисления эллипсометрических параметров: они измеряются в полном диапазоне их значений (Ψ – от 0^о до 90^о; Δ – от 0^о до 360^о) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.

Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.

Технические характеристики