В РЦ ИТКН НП СПбГУ прошёл семинар, посвящённый тонкоплёночным эпитаксиальным технологиям. На семинаре прозвучал доклад заведующего лабораторией Института проблем машиноведения РАН С. А. Кукушкина на тему "создание технологии по выращиванию бездефектных пленок карбида кремния". Данная технология открывает уникальные возможности для использования нанопленок в микро-, нано- и оптоэлектронике.
25.01.2015
- Информация о материале
- Просмотров: 1142