Установка WS-650Mz-23NPP (Laurell Technologies Corporation) предназначена для получения пленок различных соединений методом распыления раствора на вращающуюся подложку (spin-coating).
- 1. Возможность обработки подложек диаметром – от 3 до 150 мм.
- 2. Регулируемая скорость вращения подложки – до 12 000 об/с.
- 3. Автоматизированная система подачи раствора на вращающуюся пластину.
- 4. Камера прибора изготовлена из материала выдерживающего длительное воздействие минеральных кислот, щелочей и спиртов.
