Дифракция медленных электронов широко используется для исследования кристаллической структуры поверхности монокристаллов в условиях сверхвысокого вакуума. Информацию о структуре поверхности получают, анализируя упруго рассеянные кристаллом электроны, и это позволяет сделать заключение о совершенстве кристаллической структуры образца, об ориентации кристаллографических осей в пространстве. Эта информация необходима для правильной ориентации его в нужном кристаллографическом направлении для дальнейшего исследования методом фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением (ФЭСУР) дисперсии энергетических зон вдоль выделенных направлений поверхностной зоны Бриллюэна с высокой симметрией. Данная методика позволяет сократить время, отведенное для характеризации и ориентации в пространстве поверхности монокристалла или низкоразмерных структур, сформированных на его поверхности.
