Система со сфокусированными электронным и ионным зондами QUANTA 200 3D (FIA, Нидерланды), на базе которой смонтирован аналитический комплекс Pegasus 4000 (EDAX, USA).
ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ QUANTA 3D
Микроскоп Quanta 3D DualBeam® представляет собой комбинацию двух систем:
- растрового электронного микроскопа (РЭМ), дающего изображения разнообразных образцов в цифровой форме с увеличением более 100 000 крат;
- фокусированного ионного пучка (ФИП), способного быстро и прецизионно удалить слой материала образца, обнажить структуры под поверхностным слоем, создать сечение, осадить слой материала и т.п. Кроме того, ионный пучок, также как и электронный, может создать изображение с высоким разрешением.
Интеграция обоих систем в одном приборе образует мощный аналитический инструмент, способный анализировать самые разные образцы в трёхмерном пространстве. Переключение между двумя лучами позволяет иметь, с одной стороны, быструю и точную навигацию, а, с другой, – возможность прецизионного удаления слоёв материала. Совмещение электронного и ФИП пучков на коротком рабочем отрезке позволяет проводить анализ в режиме "разрезал и увидел" с высоким разрешением. Рабочая станция предоставляет оптимальный уровень производительности, разрешения и автоматизации. Кроме того, совмещение ФИП и РЭМ технологий в одном приборе добавляет микроскопу новые возможности:
- создание электронным пучком изображения сечений, созданных с помощью ФИП без эрозии области интереса;
- получение в реальном времени с помощью электронного пучка отдельных кадров и фильмов одновременно с удалением слоёв материала с помощью ФИП;
- снятие заряда электронным пучком во время удаления материала с помощью ФИП;
- проведение микроанализа элементов сечения дефекта;
- получение изображений поверхности образца с помощью электронного пучка без эрозии или паразитной имплантации галлия ионным пучком;
- подготовка образцов для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ).
