Прибор Agilent B1500A в комплексе с зондовой станцией РМ-5 (Cascade Microtech) позволяет проводить измерения электрофизических свойств полупроводниковых структур (вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики).
- Характеристики зондовой станции:
- 1. Зона установки образца – X-Y155·155 мм (точность позиционирования ±5 мкм);
- 2. Высота образца – до 30 мм;
- 3. Вращение держателя – ±10°С;
- 4. Закрепление образца – вакуумное (-0.8 бар, 3 независимых зоны прижима);
- 5. Манипуляторы – DPP-210-M-S с коаксиальными руками и бронзовыми иглами толщиной 7 мкм;
- 6. Имеется возможность фотографирования измеряемый образцов через светлопольный оптический микроскоп отражённого света 15х-100х и регулируемой светодиодной подсветкой с помощью CCD-камеры (разрешение до 1024·768 пикс., цвет, формат .tiff);
- 7. Возможно измерение геометрических размеров образцов с помощью ПО для анализа фотографий измеряемых объектов.
Измерение вольт-фарадных характеристик зависимости ёмкости от напряжения (C-V), ёмкости от времени (C-t), ёмкости от частоты (C-f), измерение полного сопротивления по переменному току:
- 1. Частотный диапазон – 1 КГц-5 МГц (дискретность – 1 мГц, погрешность – 0.008%);
- 2. Выходной сигнал – 10-250 мВСКЗ (дискретность – 1 мВСКЗ);
- 3. Смещение по постоянному току 0 – ±25 В (дискретность 1 мВ, по согласованию смещение до 100 В);
- 4. Развёртка:
- a. Максимальное кол-во точек при измерениях C-V, C-t и C-f – 1001 точек;
- b. Тип развёртки – линейная, логарифмическая;
- c. Вид развёртки – односторонняя, двусторонняя;
- d. Направление развертки – "вверх", "вниз".
- 5. Возможные измерения: Cp-G, Cp-D, Cp-Q, Cp-Rs, Cs-Rs, Cs-D, Cs-Q, Lp-G, Lp-D, Lp-Q, Lp-Rs, Ls-Rs, Ls-D, Ls-Q, R-X, G-B, Z-θ, Y-θ
Измерение вольт-амперных характеристик (I-V, в т. ч. квазистатические вольт-фарадные характеристики с компенсацией тока утечки QS-CV):
- 1. Диапазон измерений – до 100 В/0.1 А в 4-квадрантном режиме;
- 2. Минимальное разрешение измерителя – 10 фА/0,5 мкВ;
- 3. Минимальное разрешение источника – 50 фА/25 мкВ;
- 4. Минимальный период выборки при измерениях – 100 мкс;
- 5. Минимальная длительность импульса – 500 мкс;
- 6. Возможности измерений:
- a. Точечные (до 10001 точек),
- b. Свипирование,
- c. Измерения с выборкой по времени,
- d. Импульсные.
Требования к образцам
Наличие ровных контактных площадок / измеряемых участков (с одним из линейных размеров не менее 15 мкм), материал образца / контактной площадки не должен налипать на иглы зондов.
Необходимые характеристики:
- 1. Максимально допустимые значения V, I и f для данного образца.
- 2. Требуемые измеряемые характеристики, тип развёртки и дискретность.
Примечания
В настоящей комплектации измерителя Agilent B1500A измерения проводятся только с использованием псевдокельвиновского соединения (2 зонда).
Детальные характеристики модулей источников / измерителей (в т.ч. погрешности измерения) указаны в приложенном файле.
Установленные в приборе модули – MFCMU (1 шт.), MPSMUB 1511В (2 шт.), GNDU (1 шт.).
