Категория: Оборудование РЦ Инновационные технологии композитных наноматериалов
Просмотров: 5173

Прибор Agilent B1500A в комплексе с зондовой станцией РМ-5 (Cascade Microtech) позволяет проводить измерения электрофизических свойств полупроводниковых структур (вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики).

 

 

Измерение вольт-фарадных характеристик зависимости ёмкости от напряжения (C-V), ёмкости от времени (C-t), ёмкости от частоты (C-f), измерение полного сопротивления по переменному току:

Измерение вольт-амперных характеристик (I-V, в т. ч. квазистатические вольт-фарадные характеристики с компенсацией тока утечки QS-CV):

Требования к образцам

Наличие ровных контактных площадок / измеряемых участков (с одним из линейных размеров не менее 15 мкм), материал образца / контактной площадки не должен налипать на иглы зондов.

Необходимые характеристики:

Примечания

В настоящей комплектации измерителя Agilent B1500A измерения проводятся только с использованием псевдокельвиновского соединения (2 зонда). 

Детальные характеристики модулей источников / измерителей (в т.ч. погрешности измерения) указаны в приложенном файле.

Установленные в приборе модули – MFCMU (1 шт.), MPSMUB 1511В (2 шт.), GNDU (1 шт.).