Рабочая станция Auriga Laser с пересекающимися ионным и электронным пучками дополнительно укомплектована твердотельным лазером.
Zeiss AURIGA Laser
Прибор оснащен колонной электронной оптики GEMNI, в качестве источника электронов используется автоэмиссионной катод. Ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов формирует сфокусированный пучок ионов Ga+ с энергией до 30 кэВ.
Для получения изображения используются детекторы вторичных электронов In-Lens и детектор Эверхарта-Торнли SE2. Эти же детекторы используются в режиме ионного микроскопа. Также прибор оснащен системой регистрации тока, наведенного электронным пучком.
Твердотельный лазер позволяет контролируемо распылять большой объем различных материалов.
Система напуска газов позволяет осаждать под действием электронного или ионного пучка различные материалы, а также выполнять литографию с участием газа.
Также рабочая станция оснащена столом с возможностью перемещения по 6 осям, микроманипулятором Kleindiek Nanotechnik.
Основные характеристики:
Электронная колонна GEMINI
1. Пространственное разрешение (предельное)
Ускоряющее напряжение Разрешение
1 кВ 1.9 нм
15 кВ 1.0 нм
2. Диапазон токов пучка
4пA - 20 нA
3. Ускоряющее напряжение
0.1 – 30 кВ
Ионная колонна с жидкометаллическим галлиевым источником
1. Пространственное разрешение (предельное)
Ускоряющее напряжение Разрешение
30 кВ 2.5 нм
2. Диапазон токов пучка
1пA - 50 нA
3. Ускоряющее напряжение
1 – 30 кВ
Система инжекции газов
Твердотельный лазер
Длина волны 355 нм
Длительность импульса 4-20 нс
Частота импульсов 1 – 120 кГц
Мощность в импульсе до 20 кВт
Диаметр пятна фокусировки 15 мкм
