В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.
Преимущества:
- универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
- однозначность вычисления эллипсометрических параметров: они измеряются в полном диапазоне их значений (Ψ – от 0о до 90о; Δ – от 0о до 360о) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.
Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.
Технические характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|
Источник света |
галогенная лампа |
|
Спектральный диапазон |
350-1000 nm |
|
Время измерения |
|
|
На одной длине волны |
1 мс |
|
Полный спектр |
8-20 с. |
|
Диаметр светового пучка |
3 мм |
|
Диапазон углов падения света, фиксировано |
45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90° |
|
Предметный столик |
|
|
Ручное перемещение |
25 мм по осям X.Y |
|
Вертикальное перемещение |
0-20 мм |
|
Регулировка наклона плоскости предметов |
2° |
|
Воспроизводимость |
ψ= 0.02° |
|
Питание |
220-240 В (50/60 Гц) |
|
Размеры |
850x400x300 мм |
|
Вес |
55 кг |
|
Оптические механические компоненты |
|
|
Монохроматор |
малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой |
|
Поляризатор |
призма Глана-Тейлора |
|
Анализатор |
призма Волластона |
|
Компенсатор |
ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля |
|
Фотоприемник |
два кремниевых двухэлементных фотоприемника |