В основе Оже- электронной спектроскопии (ОЭС) лежит измерение энергии и количества Оже-электронов, вылетающих с поверхности твердого тела при  ее бомбардировке пучком электронов. Важной особенностью Оже-электронной спектроскопии является ее чувствительность к химическому  состоянию  анализируемых элементов  на  поверхности.  Химическое состояние элементов образца отражается на форме и положении особенностей спектра Оже-электронов.