Система со сфокусированными электронным и ионным зондами QUANTA 200 3D (FIA , Нидерланды), на базе которой смонтирован аналитический комплекс Pegasus 4000 (EDAX, USA).

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ QUANTA 3D

Микроскоп Quanta 3D DualBeam® представляет собой комбинацию двух систем:

          - растрового электронного микроскопа (РЭМ), дающего изображения разнообразных образцов в цифровой форме с увеличением более 100 000 крат

          - фокусированного ионного пучка (ФИП), способного быстро и прецизионно удалить слой материала образца, обнажить структуры под поверхностным слоем, создать сечение, осадить слой материала и.т.п. Кроме того, ионный пучок, также как и электронный, может создать изображение с высоким разрешением.

 

Интеграция обоих систем в одном приборе образует мощный аналитический инструмент, способный анализировать самые разные образцы в трёхмерном пространстве. Переключение между двумя лучами позволяет иметь с одной стороны быструю и точную навигацию, а с другой - возможность прецизионного удаления слоёв материала. Совмещение электронного и ФИП пучков на коротком рабочем отрезке позволяет проводить анализ в режиме “разрезал и увидел” с высоким разрешением. Рабочая станция предоставляет оптимальный уровень производительности, разрешения и автоматизации. Кроме того, совмещение ФИП и РЭМ технологий в одном приборе добавляет микроскопу новые возможности:

          - Создание электронным пучком изображения сечений, созданных с помощью ФИП без эрозии области интереса

          - Получение в реальном времени с помощью электронного пучка отдельных кадров и фильмов одновременно с удалением слоёв материала с помощью ФИП

          - Снятие заряда электронным пучком во время удаления материала с помощью ФИП

          - Проведение микроанализа элементов сечения дефекта

          - Получение изображений поверхности образца с помощью электронного пучка без эрозии или паразитной имплантации галлия ионным пучком

          - Подготовка образцов для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ)