Сканирующий электронный микроскоп Zeiss SUPRA 40VP, установленный в МРЦ "Нанотехнологии", является уникальным аналитическим комплексом исследования поверхности благодаря широкому набору дополнительных детекторов и приставок.

Gatan MonoCL3+ Zeiss Supra 40VP Zeiss Supra 40VP Left Panoramic View Zeiss Supra 40VP Right Panoramic View

 

Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP

Zeiss Supra 40VP - сканирующий электронный микроскоп с полевым (Field Emission) катодом, колонной электронной оптики GEMINI и полностью безмаслянной вакуумной системой с режимом работы на низком вакууме (VP). Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Помимо стандартных для серии Supra детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен детектором вторичных электронов для режима низкого вакуума (VPSE), четырехквадрантным детектором обратнорассеянных электронов (AsB).

Аналитические возможности микроскопа расширены системой регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ и системой регистрации токов наведенных электронным лучом (EBIC) Gatan SmartEBIC.

Два микроманипулятора Kleidiek Nanotechnik позволяют модифицировать наноструктуры, контролируя процесс в режиме реального времени.

Ссылки на литературу по сканирующей электронной микроскопии и аналитическим методам СЭМ можно найти в разделе Книги нашего сайта.

Основные характеристики микроскопа:

1. Пространственное разрешение (предельное)

Ускоряющее напряжение   Разрешение

200 В                                 5 нм

1 кВ                                   2.1 нм

15 кВ                                 1.3 нм

2. Характеристики источника

Диапазон токов пучка      4пA - 40 нA

Стабильность тока пучка  лучше чем 0,2% / час

3. Вакуумные режимы

Высокий вакуум в камере (HV)                        5x10-7торр

Контролируемый низкий вакуум в камере(VP)  1 Па - 144 Па

4. Стандартные детекторы

      • Внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE)

      • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)

      • Детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума в камере (VPSE)

      • Четырехквадрантный детектор обратнорассеянных электронов (AsB)

5. Параметры стандартного стола

       Моторизованный пятиосевой (Klein MK5)

Gatan MonoCL3+

Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ благодаря прецизионному параболическому зеркалу и двум высокочувствительным детекторам позволяет записывать спектры катодолюминесценции в диопазоне длин волн от ультрофиолетовой области до ближнего инфракрасного излучения.

Для регистрации спектров в диапазоне 900 нм - 2000 нм (ближняя ИК область) применяется CCD-камера Princeton Instruments/Acton IRCL-9, охлаждаемая жидким азотом. Камера представляет собой линейку из 1024 элементов длиной 2 см. Главной особенностью данного решения можно назвать возможность параллельной безлюфтовой регистрации спектров, что позволяет повысить точность определения относительного положения максимумов в спектрах катодолюминесценции.

Установленная система укомплектована проточным гелиевым криостолом, при работе с которым в качестве хладагента может применяться как гелий так и жидкий азот (Dual-fuel option).

Также систему дополняет модуль Gatan SmartEBIC, позволяющий регистрировать ток наведенный электронным лучом (EBIC). Для измерения тока используется усилитель Stanford Research SR570. 

Основные характеристики системы:

- Монохроматор:

      • система: Черни - Тернера

      •дифр. решетки: 1200 штр./мм и 300 штр./мм

- Детекторы:

      • ФЭУ - Peltier-cooled HSPMT (200 нм - 950 нм)

      • CCD-камера IRCL9 (900 нм - 2000 нм)

- Диапазон температур: 6 K - 400 K.