Zeiss Merlin - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II и безмаслянной вакуумной системой.

Помимо детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен четырехквадрантным детектором обратно-рассеянных электронов (AsB) и детектором обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).

Аналитические возможности микроскопа расширены дополнительными приставками для рентгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act и системой регистрации дифракции обратнорассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5.

 

Основные характеристики микроскопа:

1. Пространственное разрешение (предельное) при ускоряющем напряжении 15 кВ

Ток пучка   Разрешение

40 нА           0,8 нм

100 нА         0,8 нм

300 нА         1.0 нм

2. Характеристики источника

Диапазон токов пучка       10пA - 300нA

Стабильность тока пучка   лучше чем 0,2% / час

3. Стандартные детекторы

- Внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE)

- Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)

- Детектор обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).

- Четырехквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов (AsB)

4. Параметры стандартного стола

   Моторизованный пятиосевой (Klein MK5)

Oxford Instruments INCAx-act

Система энергодисперсионного ренгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act, благодаря детектору большой площади и высокой чувствительности, позволяет производить экспресс-анализ элементного состава образцов даже при  малых токах пучка, порядка двух - трех сотен пикоампер. Таким образом, при анализе сохраняется высокое разрешение при одновременной регистрации SE-изображений, наносится минимальный ущерб исследуемому объекту.

Установленный спектрометр, благодаря пакету INCASynergy, скомбинирован с системой регистрации и анализа дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5, что позволяет одновременно исследовать распределение элемнтного состава и кристаллических фаз в приповерхностой области образца.

Подробно о ренгеновском микроанализе можно прочесть в книге Дж. Гоулдстейна "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ", пожалуй одной из лучших книг по сканирующей электронной микроскопии.

Характеристики системы

- Тип спектрометра: энергодисперсионный (EDS);

- Тип детектора: Analytical Silicon Drift Detector (SDD) : INCAx-act;

         • Безазотное охлаждение (Пельтье);

- Спектральное разрешение: 126 эВ (Mn), соответствует ISO15632:2002;

- Чувствительность к концентрации: 0,1%;

- Спектрометр комбинирован с детектором дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD);