Zeiss Merlin - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II и безмаслянной вакуумной системой.
Помимо детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен четырехквадрантным детектором обратно-рассеянных электронов (AsB) и детектором обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).
Аналитические возможности микроскопа расширены дополнительными приставками для рентгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act и системой регистрации дифракции обратнорассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5.
Основные характеристики микроскопа:
1. Пространственное разрешение (предельное) при ускоряющем напряжении 15 кВ:
- Ток пучка Разрешение
- 40 нА 0,8 нм
- 100 нА 0,8 нм
- 300 нА 1.0 нм
2. Характеристики источника:
- Диапазон токов пучка 10пA - 300нA
- Стабильность тока пучка лучше, чем 0,2% / час
3. Стандартные детекторы:
- внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE),
- детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2),
- детектор обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB),
- четырехквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов (AsB).
4. Параметры стандартного стола:
Моторизованный пятиосевой (Klein MK5).
Oxford Instruments INCAx-act
Система энергодисперсионного ренгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act, благодаря детектору большой площади и высокой чувствительности, позволяет производить экспресс-анализ элементного состава образцов даже при малых токах пучка, порядка двух-трех сотен пикоампер. Таким образом, при анализе сохраняется высокое разрешение при одновременной регистрации SE-изображений, наносится минимальный ущерб исследуемому объекту.
Установленный спектрометр, благодаря пакету INCASynergy, скомбинирован с системой регистрации и анализа дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5, что позволяет одновременно исследовать распределение элемнтного состава и кристаллических фаз в приповерхностой области образца.
Подробно о ренгеновском микроанализе можно прочесть в книге Дж. Гоулдстейна "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ", пожалуй одной из лучших книг по сканирующей электронной микроскопии.
Характеристики системы:
- - тип спектрометра – энергодисперсионный (EDS);
- - тип детектора – Analytical Silicon Drift Detector (SDD) : INCAx-act;
- • безазотное охлаждение (Пельтье);
- - спектральное разрешение – 126 эВ (Mn), соответствует ISO 15632:2002;
- - чувствительность к концентрации – 0,1%;
- - спектрометр комбинирован с детектором дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD).
