Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим ОМЕГА фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.

 Zeiss Libra 200 Sample Holder Zeiss Libra 200 Desk Zeiss Libra 200 Desk 2 Zeiss Libra 200FE Panoramic View

 

Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Libra 200 FE - аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Основные характеристики микроскопа:

Ускоряющее напряжение:

          • 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ 

Увеличение:

          • в режиме  ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х

          • в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х

          • в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х

Предельное разрешение:

          • в режиме ПЭМ 0.12 нм

          • в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм

Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.

Методы

- Высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ)

- Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)

- Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ)

- ПЭМ с фильтрацией по энергиямЭлектронная дифракция (ED)

- ED в сходящемся пучке (CBED)

- Аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS)

- Z-контраст

- Наблюдение объекта в диапазоне температур от -170С до 25С

Области применения

- Характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов

- Локальный анализ элементного состава

- Анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники

- Идентификация дефектов кристаллической решетки  полупроводниковых материалов

- Тонкая структура биологических объектов

Требования к образцам

Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например:

- Алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm

Энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения X-Max

- Тип спектрометра: энергодисперсионный (EDS);

- Тип детектора: Analytical Silicon Drift Detector (SDD) : X-Max;
      • Активная площадь кристалла 80мм^2;
      • Безазотное охлаждение (Пельтье);
      • Моторизированный слайдер

- Спектральное разрешение: 127 эВ (Mn), соответствует ISO15632:2002;

- Чувствительность к концентрации: 0,1%;

Держатели образов для LIBRA 200

Gatan Model  643 одноосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений и аналитических приложений, такие как электронная дифракции и EDX анализ образцов ТЕМ, где не требуется две оси наклона образца.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                     1.5 нм/мин

• Разрешение                                             0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                        3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                Бериллий

• Угол наклона                                            максимум 60ᵒ

Gatan Model  646 двухосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений с высоким разрешением, держатель  включает в себя конструктивные особенности, оптимизирован для электронной дифракции и EDX анализа кристаллических образцов.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                 Бериллий

• Углы наклона                                            α =60ᵒ  β = 45ᵒ

Gatan Model  626 Одноосный Крио трансфер аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах замороженных гидратированных образцов,  Он также может быть использована для исследований in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода, уменьшения нежелательных тепловых эффектов в EELS.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                       110ᵒС

• Мин.  рабочая температура                       - 170ᵒС

• Криоген                                                    Жидкий азот

• Стабильность температуры                         ± 1ᵒС

• Время охлаждения                                    30 минут до -170ᵒС

• Материал держателя                                 Медь

• Угол наклона                                             максимум 60ᵒ

Используется совместно с:

• Рабочая станция Model 626 workstation

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

Gatan Model 636 Двухосный Крио аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах, in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода. Он также может быть использована для уменьшения нежелательных тепловых эффектов в аналитических методах EELS и EDX

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                       110ᵒС

• Мин.  рабочая температура                       - 170ᵒС

• Криоген                                                   Жидкий азот

• Стабильность температуры                        ± 1ᵒС

• Время охлаждения                                   30 минут до -170ᵒС

• Материал держателя                                Бериллий

• Углы наклона                                            α =60ᵒ  β = 45ᵒ

Используется совместно с:

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

Gatan Model 652 Двухосный аналитический держатель с нагревом


Держатель с возможностью нагрева образца предназначен для in-situ наблюдения микро - структурные изменения фазы, нуклеации, ростом и растворением в процессе повышенных температур.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                  0.2 нм/мин (при температуре от 0 до 500ᵒC)

• Разрешение                                          0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                     3 мм диаметр, 500 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                    1000ᵒС

• Мин.  рабочая температура                    комната

• Материал держателя                             Бериллий, медь

• Углы наклона                                         α =45ᵒ  β = 30ᵒ

Используется совместно с:

• Контроллер температуры Model 901 SmartSet Hot Stage Controller

• Водяным рециркулятором Model 652.09J Water recirculator

Gatan Model 654 Одноосный деформационный держатель


Держатель предназначен для исследования in-situ растяжение образцов.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         2.5 мм X 11.5 мм, 500 микрон толщина

Используется совместно с:

• Контроллер Accutroller Model 902

Fischione Model 2040 Двухосевой томографический держатель

Держатель с дополнительной осью вращения предназначен для получения серии изображений для томографии.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                Медь

• Угол наклона                                            максимум 70ᵒ