Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим ОМЕГА фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.

 Zeiss Libra 200 Sample Holder Zeiss Libra 200 Desk Zeiss Libra 200 Desk 2 Zeiss Libra 200FE Panoramic View

 

Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Libra 200 FE – аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Основные характеристики микроскопа:

Ускоряющее напряжение:

          • 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ.

Увеличение:

  • • в режиме  ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х;
  • • в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х;
  • • в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х.

Предельное разрешение:

  • • в режиме ПЭМ 0.12 нм;
  • • в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм.

Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.

Методы:

  • - высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ);
  • - просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ);
  • - сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ);
  • - ПЭМ с фильтрацией по энергиям;
  • - электронная дифракция (ED);
  • - ED в сходящемся пучке (CBED);
  • - аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS);
  • - Z-контраст;
  • - наблюдение объекта в диапазоне температур от -170оС до 25оС.

Области применения:

  • - характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов;
  • - локальный анализ элементного состава;
  • - анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники;
  • - идентификация дефектов кристаллической решетки  полупроводниковых материалов;
  • - тонкая структура биологических объектов.

Требования к образцам:

Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например: алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm.

 

Энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения X-Max

Тип спектрометра –  энергодисперсионный (EDS).

Тип детектора – Analytical Silicon Drift Detector (SDD): X-Max;
      • активная площадь кристалла – 80 мм2;
      • безазотное охлаждение (Пельтье);
      • моторизированный слайдер.

Спектральное разрешение – 127 эВ (Mn), соответствует ISO 15632:2002;

Чувствительность к концентрации – 0,1%.

 

Держатели образов для LIBRA 200

Gatan Model  643. Одноосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений и аналитических приложений, такие как электронная дифракции и EDX анализ образцов ТЕМ, где не требуется две оси наклона образца.

Основные характеристики:

  • • cкорость дрейфа                                     1.5 нм/мин
  • • разрешение                                            0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                       3 мм диаметр, 100 микрон толщина
  • • материал держателя                               бериллий
  • • угол наклона                                          максимум 60ᵒ

 

Gatan Model  646. Двухосный аналитический держатель

Предназначен для получения изображений с высоким разрешением, держатель  включает в себя конструктивные особенности, оптимизирован для электронной дифракции и EDX-анализа кристаллических образцов.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин
  • • разрешение                                              0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина
  • • материал держателя                                 бериллий
  • • углы наклона                                            α =60ᵒ  β = 45ᵒ

Gatan Model  626. Одноосный Крио трансфер аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах замороженных гидратированных образцов,  Он также может быть использована для исследований in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода, уменьшения нежелательных тепловых эффектов в EELS.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                     1.5 нм/мин
  • • разрешение                                            0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                       3 мм диаметр, 100 микрон толщина
  • • макс. рабочая температура                     110ᵒС
  • • мин.  рабочая температура                      - 170ᵒС
  • • криоген                                                  жидкий азот
  • • стабильность температуры                      ± 1ᵒС
  • • время охлаждения                                  30 минут до -170ᵒС
  • • материал держателя                               медь
  • • угол наклона                                          максимум 60ᵒ

Используется совместно с такими приборами:

• Рабочая станция Model 626 workstation

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

 

Gatan Model 636. Двухосный Крио аналитический держатель

Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах, in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода. Он также может быть использована для уменьшения нежелательных тепловых эффектов в аналитических методах EELS и EDX.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин
  • • разрешение                                             0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                        3 мм диаметр, 100 микрон толщина
  • • макс. рабочая температура                       110ᵒС
  • • мин.  рабочая температура                       - 170ᵒС
  • • криоген                                                   жидкий азот
  • • стабильность температуры                       ± 1ᵒС
  • • время охлаждения                                   30 минут до -170ᵒС
  • • материал держателя                                бериллий
  • • углы наклона                                           α =60ᵒ  β = 45ᵒ

 Используется совместно с таким прибором:

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

 

Gatan Model 652. Двухосный аналитический держатель с нагревом


Держатель с возможностью нагрева образца предназначен для in situ наблюдения за микро-структурными изменениями фазы, нуклеации, ростом и растворением в процессе повышенных температур.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                  0.2 нм/мин (при температуре от 0 до 500ᵒC)
  • • разрешение                                         0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                    3 мм диаметр, 500 микрон толщина
  • • макс. рабочая температура                   1000ᵒС
  • • мин.  рабочая температура                   комната
  • • материал держателя                            бериллий, медь
  • • углы наклона                                       α =45ᵒ  β = 30ᵒ

Используется совместно с такими приборами:

• Контроллер температуры Model 901 SmartSet Hot Stage Controller

• Водяным рециркулятором Model 652.09J Water recirculator

 

Gatan Model 654. Одноосный деформационный держатель


Держатель предназначен для исследования in situ растяжения образцов.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин
  • • разрешение                                             0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                       2.5 мм X 11.5 мм, 500 микрон толщина

Используется совместно с таким прибором:

• Контроллер Accutroller Model 902

 

Fischione Model 2040. Двухосевой томографический держатель

Держатель с дополнительной осью вращения предназначен для получения серии изображений для томографии.

Основные характеристики:

  • • скорость дрейфа                                     1.5 нм/мин
  • • разрешение                                             0.34 нм при нулевом угле наклона
  • • размер образца                                       3 мм диаметр, 100 микрон толщина
  • • материал держателя                                медь
  • • угол наклона                                           максимум 70ᵒ