Spectral ellipsometry complex "Ellipse 1891 SAG" (wavelength range 350-1000 nm) is designed for precision measurements of the thickness of single-layer and multilayer thin-film structures, as well as investigation of the spectral optical constants (refractive index and absorption coefficient), the structural material properties (porosity, the presence of , and the concentration distribution of impurities in the film) over the entire spectral range.

 

The basis of the complex high-speed static scheme laid ellipsometric measurements . Algorithms for signal reading and calculation of operating parameters provide very high sensitivity needed for measurements with high spectral razresheniem.Ispolzovanie new measuring system provides a quick scan of the entire spectrum or individual sections of the spectrum with high spectral resolution.

Benefits

      • versatility coupled with the high efficiency and accuracy;

      • odnoznachnochnostyu calculating ellipsometric paramerov they are measured in the full range of their values ​​(Ψ - from 0 to 90 degrees ; Δ - from 0 to 360 degrees ) with the same accuracy and sensitivity, which allows unambiguous interpretation of measurement results.

Software security is a complete spectral kopleks tool holding different modes of measurement , visualization, simulation and analysis of results.

additional Features

Spectral ellipsometer may alternatively be mounted on the process chamber (in-situ option ) .

 technical characteristics

Характеристика

Значение

Источник света

галогенная лампа

Спектральный диапазон, нм

350 - 1000 nm

Время измерения

 

на одной длине волны

1 мс

полный спектр

8–20 сек

Диаметр светового пучка

3 мм

Диапазон углов падения света, фиксированно

45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°

Предметный столик

 

ручное перемещение

25 мм по осям X.Y

Вертикальное перемещение

0–20 мм

Регулировка наклона плоскости предметов

Воспроизводимость

ψ= 0.02°
dΔ= 0.05°

Питание

220–240 В (50/60 Гц)

Размеры

850x400x300 мм

Вес

55 кг

Оптические м механические компоненты

 

Монохроматор

малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой

Поляризатор

Призма Глана-Тейлора

Анализатор

Призма Волластона

Компенсатор

Ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля

Фотоприемник

Два кремниевых двухэлементных фотоприемника